Atlas 系列是 Edwards 的燃燒式尾氣處理設備。將半導體製造使用的有害氣體與溫室氣體（PFC）在設備附近（使用點，point of use）燃燒以無害化。
採用自 1994年起成為全球標準的內向燃燒（inward-fired）燃燒器技術。燃燒溫度均勻，且處理氣體不會接觸腔壁，因此可將堵塞降到最低。以獨家燃燒器材料，耐蝕性也優異。
依用途分為：CVD 的 NF₃／F₂ 用 Atlas TCS、CVD 的 ClF₃・C₂F₆・C₃F₈ 等 PFC 用 Atlas TPU、新一代 Low-k CVD 用 Atlas Kronis、CF₄・SF₆ 等蝕刻用 Atlas Etch，以及磊晶或 MOCVD 的氫氣用 Atlas Helios。去除效率為 NF₃・F₂ 超過 99%、CF₄ 超過 90%、其他 PFC 超過 99%。