EV-M 型是荏原製作所適用於節能與高負荷製程的乾式真空幫浦。在半導體・液晶・太陽能電池製造製程中，針對會產生反應副產物的高負荷製程，以荏原獨家的高溫化技術因應。
以高節能性能，同時實現對高負荷製程的因應與節能。標準採用耐腐蝕材料，另有提高耐腐蝕性的選配。無油設計，在 50Hz 與 60Hz 下性能相同，並可對應 CE 標誌、SEMI-S2、NRTL。
產品陣容從抽氣速度 1,800L/min 的 EV-M20N，到 10,000～80,000L/min 的機種，乃至最大 110,000L/min 的 EV-M1205SF。極限壓力為 0.5Pa（EV-M20N 為 5Pa）。可依製程條件因應廣泛的高負荷製程。