最後更新:2026年10月23日氣體純化設備

GateKeeper GPU的特點與規格

英特格(Entegris)・氣體純化設備

英特格(Entegris)可同時去除水分與揮發性金屬的腐蝕性氣體用氣體純化器。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

GateKeeper GPU 是英特格(Entegris)的氣體純化器(gas purifier),可從半導體製造所用的製程氣體中去除雜質,使其達到 ppt(1 兆分之 1)等級的純度。

支援含氯氣(Cl₂)、溴化氫(HBr)、氯化氫(HCl)、四氟化碳(CF₄)、二氧化硫(SO₂)、六氟化硫(SF₆)等腐蝕性氣體在內的多種氣體,並備有依氣體種類搭配的多種純化介質。

純化器的壓力損失小,可在無需加熱的常溫下運作。採可再生設計,無廢棄成本與廢棄物的顧慮,壽命長、可抑制持有成本。已取得歐洲壓力設備指令(PED)的 CE 認證。用於大宗氣體供應系統、微影、磊晶、乾式蝕刻、晶圓成長與薄膜沉積等各工序。

主要規格

純化方式吸附介質+內建 Wafergard 過濾器
對象氣體Cl₂・HBr・HCl・CF₄・BCl₃・SO₂・SF₆ 等 18 種
主要用途設備前端(使用點,point of use)的氣體純化

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

純化至 ppt 等級
支援腐蝕性氣體(Cl₂・HBr・HCl 等)
低壓損・常溫運作
可再生且壽命長

主要用途

  • 大宗氣體供應系統的純化
  • 乾式蝕刻・磊晶・薄膜沉積的製程氣體

製造商

英特格(Entegris)(總部:美國)

所屬設備分類

相關用語

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資料來源

  1. 英特格(Entegris)官方產品頁面:Entegris GateKeeper GPU