GateKeeper GPU 是英特格(Entegris)的氣體純化器(gas purifier),可從半導體製造所用的製程氣體中去除雜質,使其達到 ppt(1 兆分之 1)等級的純度。
支援含氯氣(Cl₂)、溴化氫(HBr)、氯化氫(HCl)、四氟化碳(CF₄)、二氧化硫(SO₂)、六氟化硫(SF₆)等腐蝕性氣體在內的多種氣體,並備有依氣體種類搭配的多種純化介質。
純化器的壓力損失小,可在無需加熱的常溫下運作。採可再生設計,無廢棄成本與廢棄物的顧慮,壽命長、可抑制持有成本。已取得歐洲壓力設備指令(PED)的 CE 認證。用於大宗氣體供應系統、微影、磊晶、乾式蝕刻、晶圓成長與薄膜沉積等各工序。