氣體供應・偵測系統是什麼
氣體供應・偵測系統是將氣體送達整座晶圓廠，並守護其純度與安全的設施類別。氮氣、氧氣、氬氣等大宗氣體（bulk gas）從室外儲槽經管路網路送至各設備，矽烷或氨等特殊材料氣體則從鋼瓶櫃（cylinder cabinet）供應。管路途中吸附的水分或氧氣即使只有 ppb 等級也會使膜質劣化，因此要以純化器做出最終純度。既然處理可燃性・毒性氣體，以氣體偵測系統進行洩漏監控與緊急遮斷，在法規上與運作上都不可或缺，供應與安全始終一體設計。
細分類 3 類
主要細分類
- •氣體偵測系統
- •氣體純化設備
- •氣體供應設備・大宗氣體設施
重點整理
大宗氣體經由管路網路，特殊材料氣體從鋼瓶櫃供應
即使 ppb 等級的水分・氧氣混入也會使膜質劣化，因此以純化器確保純度
可燃性・毒性氣體的洩漏監控與緊急遮斷在法規上也是必要的
供應系統與安全系統始終一體設計・運作
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