氣體純化設備是什麼

氣體純化設備是將供應氣體中殘留的水分、氧與碳氫化合物去除至 ppb～ppt 等級的設備。即使在鋼瓶或儲槽階段為高純度，吸附在管路內壁的水分也會逐漸釋出，因此需要在設備前端進行最終純化。依去除對象組合使用以吸氣材料（getter）進行的化學吸附、以觸媒進行的氧化去除、以分子篩進行的吸附等方式。氧或水分的混入會以膜中雜質或介面缺陷的形式出現，因此純化後的純度直接左右成膜品質。