最後更新:2026年10月23日CMP 後清洗設備

Planarcore PVA 刷的特點與規格

英特格(Entegris)・CMP 後清洗設備

用於 CMP 後晶圓清洗的 PVA 刷。可抑制晶圓之間的差異。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

Planarcore PVA 刷是英特格(Entegris)用於 CMP 後清洗的刷子。在聚丙烯成形的拋棄式內軸上一體成形 PVA(聚乙烯醇),於 CMP 後的晶圓清洗中獲得高性能與晶圓間的均勻性。

透過獨家的「molded-through-the-core(MTTC)」技術,PVA 與內軸完全密合。一般的 PVA 產品只是以摩擦力嵌在內軸上,而 Planarcore 的 PVA 確實固定在內軸上,因此不會發生 PVA 滑動、膨脹或同心度下降。

尺寸穩定性高,每次都能以相同方式安裝,因此不會產生作業人員造成的誤差與差異。在刷子的整個壽命期間維持一定性能,並沿 PVA 長度方向獲得均勻的液體噴出。也備有針對荏原製作所(EBARA)與 OnTrak 等設備的產品。

主要規格

種類PVA 刷
對應材料所有 CMP 後晶圓
主要用途CMP 後的刷洗

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

PVA 與內軸一體成形的 MTTC 技術
無 PVA 滑動・膨脹・同心度下降
以拋棄式內軸防止安裝失誤
整個壽命期間維持一定的清洗性能

主要用途

  • CMP 後的刷洗

製造商

英特格(Entegris)(總部:美國)

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資料來源

  1. 英特格(Entegris)官方產品頁面:Entegris Planarcore PVA PDF