Planarcore PVA 刷是英特格(Entegris)用於 CMP 後清洗的刷子。在聚丙烯成形的拋棄式內軸上一體成形 PVA(聚乙烯醇),於 CMP 後的晶圓清洗中獲得高性能與晶圓間的均勻性。
透過獨家的「molded-through-the-core(MTTC)」技術,PVA 與內軸完全密合。一般的 PVA 產品只是以摩擦力嵌在內軸上,而 Planarcore 的 PVA 確實固定在內軸上,因此不會發生 PVA 滑動、膨脹或同心度下降。
尺寸穩定性高,每次都能以相同方式安裝,因此不會產生作業人員造成的誤差與差異。在刷子的整個壽命期間維持一定性能,並沿 PVA 長度方向獲得均勻的液體噴出。也備有針對荏原製作所(EBARA)與 OnTrak 等設備的產品。