Planarcore PVA ブラシとは
Planarcore PVA ブラシは、Entegris の CMP 後洗浄用のブラシです。ポリプロピレンを成形したディスポーザブルのコアに PVA（ポリビニルアルコール）を一体成形しており、CMP 後のウェーハ洗浄で高い性能とウェーハ間の均一性を得ます。
独自の「molded-through-the-core（MTTC）」技術により、PVA がコアに完全に密着します。一般的な PVA 製品はコアに摩擦ではめ込んでいるだけですが、Planarcore では PVA がコアに確実に固定されるため、PVA のすべり、膨張、同心度の低下が起こりません。
寸法安定性が高く、毎回同じように装着できるため、作業者による誤差やばらつきがありません。ブラシの寿命を通じて性能が一定に保たれ、PVA の長さ方向に均一な液の吐出が得られます。荏原や OnTrak などの装置向けの製品も用意されています。
主な特長
- •PVA とコアを一体成形する MTTC 技術
- •PVA のすべり・膨張・同心度低下がない
- •ディスポーザブルコアで装着ミスを防止
- •寿命を通じて一定の洗浄性能
主な仕様
| 種類 | PVA ブラシ |
|---|---|
| 対応材料 | CMP 後ウェーハ全般 |
| 主要用途 | CMP 後のブラシ洗浄 |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
洗浄薬液・ブラシ：2機種の比較
| 項目 | EntegrisPlanarClean® AG | EntegrisPlanarcore® PVA ブラシ |
|---|---|---|
| 種類 | CMP 後洗浄液（水系配合液） | PVA ブラシ |
| 対応材料 | Cu 配線（先端 Cu プロセス） | CMP 後ウェーハ全般 |
| 主要用途 | バリア CMP 後の洗浄と腐食防止 | CMP 後のブラシ洗浄 |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •CMP 後のブラシ洗浄
掲載カテゴリ
Planarcore PVA ブラシは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
Entegris
半導体材料インテグリティ管理の専業企業。ウェハキャリア（FOUP）・CMPスラリー・超純水フィルタ・ガス精製器など汚染制御製品でNo.1クラスのシェア。
CMP後洗浄装置のほかの製品
Entegrisのほかの製品
関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-06