Spectra FOUP 是英特格（Entegris）的 300mm 晶圓用 FOUP（在製程內搬運晶圓的密封容器），最多可收納 26 片。
維持容器內微環境（mini-environment）潔淨的性能高，並備有從前後通入氣體的吹淨（purge）選配。該公司也備有 A300 FOUP。
Spectra FOUP的特點與規格
英特格（Entegris）・晶圓載具・FOUP・EFEM
微環境控制優異的英特格（Entegris）300mm FOUP。備有前後吹淨的選配。
產品概要
主要規格
| 種類 | FOUP（製程內容器） |
|---|---|
| 適用晶圓尺寸 | 300 mm（最多 26 片） |
| 相關產品 | A300 FOUP |
| 主要用途 | 廠內的晶圓傳送（支援吹淨） |
規格依廠商公開資料整理，實際規格與選配請以廠商資料為準。
主要特點
300mm・最多 26 片
微環境控制
前後吹淨選配
主要用途
- 廠內的晶圓傳送
製造商
英特格（Entegris）（總部：美國）