FOUP(Front Opening Unified Pod)是一種專用密封容器,用於在保護矽晶圓免受外部環境汙染(微粒、濕氣、化學物質)的同時,安全地傳送與保管晶圓。由於SEMI E47.1規定了尺寸與介面,即使容器、設備與傳送系統的廠商不同,也能維持相容性。作為200mm晶圓時代SMIF(Standard Mechanical Interface)晶圓盒的後繼,已廣泛導入300mm晶圓產線。
FOUP在無塵室內的晶圓傳送系統(AMHS:Automated Material Handling System)中扮演核心角色。沿天花板軌道行駛的OHT(Overhead Hoist Transport,天車)自動傳送FOUP,並自動供給至各製程設備的裝載埠。作業人員無須直接接觸晶圓,實現完全自動化的傳送。
FOUP內部透過惰性氣體(N₂)吹淨(充填氮氣),隔絕氧氣、水分與有機物汙染。特別是在忌諱形成原生氧化層的Cu/Low-k製程,以及需要防止EUV光阻劣化的製程中,N₂吹淨FOUP的重要性日益提高。晶圓沿垂直方向在插槽中收納25片(300mm標準)。
FOUP本體以PBT(聚對苯二甲酸丁二酯)等抗靜電塑膠成型,內部晶圓支撐部(缺口導引、支撐肋)要求高尺寸精度。與裝載埠之間的機械匹配則由FIMS介面(Front-Opening Interface Mechanical Standard)規範。
主要廠商有Entegris、信越聚合物、Miraial、家登精密(Gudeng Precision,台灣)等。為提升先進邏輯與記憶體晶圓廠的稼動率,內建感測器、可即時監控晶圓狀態的智慧型FOUP也在開發中。