AMHS（Automated Material Handling System：自動化物料搬運系統）是在半導體晶圓廠內，將收納於FOUP（前開式晶圓傳送盒）的晶圓於設備之間自動搬運的系統，由OHT（天車式搬運車）、AGV（無人搬運車）與Stocker（倉儲設備）構成。
這是直接關係到晶圓廠生產力與稼動率提升的重要設備，大福（Daifuku）、村田機械、RORZE引領全球市場。在先進晶圓廠中，搬運高速化、搬運中的振動管理與自動排程是技術課題。
AMHS以在天花板軌道上行駛的OHT（天車式搬運車）、Stocker與輸送帶，自動搬運收納晶圓的FOUP（傳送盒）。不經人手、24小時連續串連各製程，在抑制汙染風險的同時實現高稼動率。
300mm晶圓廠1天會發生數萬次搬運，搬運瓶頸會直接成為產能（throughput）的限制。與MES（製造執行系統）連動、即時最佳化搬運相當重要。大福、村田機械、RORZE等為主要廠商。