Spectra FOUPとは
Spectra FOUP は、Entegris の 300mm ウェーハ用の FOUP（工程内でウェーハを運ぶ密閉容器）です。最大 26 枚を収めます。
容器内の微小環境（ミニエンバイロメント）を清浄に保つ性能が高く、前後からガスを流すパージのオプションがあります。同社は A300 FOUP もそろえています。
主な特長
- •300mm・最大 26 枚
- •ミニエンバイロメント制御
- •前後パージのオプション
主な仕様
| 種類 | FOUP（工程内容器） |
|---|---|
| 対応ウェハ径 | 300 mm（最大 26 枚） |
| 関連製品 | A300 FOUP |
| 主要用途 | 工場内のウェーハ搬送（パージ対応） |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | ミライアル（MIRAIAL）300mm FOUP | 信越ポリマーFOUP300EX | EntegrisSpectra™ FOUP |
|---|---|---|---|
| 種類 | FOUP（工程内容器） | FOUP（工程内容器） | FOUP（工程内容器） |
| 対応ウェハ径 | 300 mm | 300 mm（最大 25 枚） | 300 mm（最大 26 枚） |
| 関連製品 | 300mm FOSB（出荷容器） | MW300GT・PANEL FOUP | A300 FOUP |
| 主要用途 | 工場内のウェーハ搬送・保管 | 工場内のウェーハ搬送・保管 | 工場内のウェーハ搬送（パージ対応） |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •工場内のウェーハ搬送
掲載カテゴリ
Spectra FOUPは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
Entegris
半導体材料インテグリティ管理の専業企業。ウェハキャリア（FOUP）・CMPスラリー・超純水フィルタ・ガス精製器など汚染制御製品でNo.1クラスのシェア。
ウェハキャリア・FOUP・EFEMのほかの製品
Entegrisのほかの製品
関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-07