最後更新:2026年10月23日MBE 設備(分子束磊晶)

RC1100的特點與規格

Epiquest・MBE 設備(分子束磊晶)

低價格・節省空間的小型研究用 MBE 設備。可與 STM 等分析設備搭配,用於新材料開發。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

RC1100 是 Epiquest 的研究用 MBE(分子束磊晶)設備。定位為低價格・節省空間且高性能的研究用 MBE,設計上讓個人或小規模研究也能進行正式的晶體成長研究。

MBE 是在超高真空中將原料以分子束照射至基板,以原子層等級成長晶體的方法。RC1100 預設用於新材料開發,可與 STM(掃描穿隧顯微鏡)等分析設備搭配使用。

該公司產品線還有適用更高階研究與準量產、支援 III-V 族・Si 系・金屬系・II-VI 族的 RC2100/RC3100,以及在 8 吋以上基板進行 ±1% 以下均勻晶體成長的生產用 RC6100。

主要規格

用途分類小型研究用
主要用途大學・研究機構的新材料開發

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

低價格・節省空間的研究用 MBE
可與 STM 等分析設備搭配
上位機種 RC2100/RC3100/RC6100 產品線

主要用途

  • 大學・研究機構的新材料開發
  • 化合物半導體的晶體成長研究

製造商

Epiquest(總部:日本)

所屬設備分類

相關用語

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資料來源

  1. Epiquest 官方產品頁面:MBE