GaAs(砷化鎵)是由鎵(Ga)與砷(As)組成的13-15族(III-V族)化合物半導體。室溫下的能隙約1.42eV,屬於直接能隙型,電子遷移率約8,500cm²/V·s,約為矽的6倍。憑藉這2項特性,GaAs一直被用於高頻運作的電晶體與發光元件兩方面。
高頻用途的代表,有智慧型手機發射用的功率放大器(GaAs HBT)、天線開關(pHEMT),以及衛星通訊與雷達的放大器。GaAs與AlGaAs的晶格常數幾乎相同,容易形成優質的異質接面,能充分發揮HEMT與HBT的性能。在光學用途方面,利用其直接能隙、發光效率高的特點,用於紅外線LED、CD與DVD用的半導體雷射,以及臉部辨識與資料通訊用的垂直共振腔面射型雷射(VCSEL)。在太空用多接面太陽能電池中,GaAs也是核心材料。
GaAs單晶是以液封柴可拉斯基法(LEC法)或垂直梯度凝固法(VGF法)製作,晶圓以直徑150mm(6吋)以下為主。其弱點是比矽易碎、熱導率低至約3分之1,以及無法形成優質的絕緣膜(氧化膜)而難以製作MOSFET,因此電晶體是以蕭特基閘極的MESFET或HEMT形式製作。元件製造少不了以MOCVD或MBE進行的磊晶成長。由於含砷,加工廢料與廢液的處理也需注意。主要的基板廠商有住友電氣工業等,元件方面有Skyworks、Qorvo,晶圓代工則以穩懋(WIN Semiconductors)等為人所知。