最後更新:2026年10月23日奈米壓印微影(NIL)

HERCULES NIL 300 mm的特點與規格

EV Group(EVG)・奈米壓印微影(NIL)

將清洗・光阻塗佈・烘烤與 SmartNIL 方式晶圓級奈米壓印整合於 1 台的軌道系統。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

HERCULES NIL 300mm 是 EV Group(EVG)的 UV 奈米壓印(UV-NIL)量產系統。採用 EVG 獨家的 SmartNIL 技術,對最大 300mm 的基板進行晶圓全片一次壓印。也可作為 200mm/300mm 的橋接機台使用。

採完全模組化配置,最多可替換搭載 8 組壓印與前處理的製程模組,也能並列多組 SmartNIL 模組。並整合低力脫模、含冷卻的溫度控制,以及工作印模(working stamp)的製作功能。

解析度視模板與製程而定,可形成 40nm 以下的結構,也支援含 3D 在內的各種形狀,以及在高低差大的表面上壓印。用於 AR/VR 頭戴裝置用光學元件、3D 感測器、生醫、奈米光子學、超穎表面等的量產。

主要規格

方式UV 奈米壓印(SmartNIL・晶圓全片一次)
特點整合前處理的模組化配置・200/300 mm 橋接
主要用途AR/VR 光學元件・3D 感測器・奈米光子學

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

以 SmartNIL 進行全片一次的 UV 奈米壓印
最多 8 組製程模組(壓印・前處理)
40nm 以下的結構,也支援 3D 形狀
整合工作印模製作功能

主要用途

  • AR/VR 光學元件(波導等)
  • 3D 感測器・奈米光子學・超穎表面

製造商

EV Group(EVG)(總部:奧地利)

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資料來源

  1. EV Group(EVG)官方產品頁面:EV Group HERCULES NIL