HERCULES NIL 300mm 是 EV Group(EVG)的 UV 奈米壓印(UV-NIL)量產系統。採用 EVG 獨家的 SmartNIL 技術,對最大 300mm 的基板進行晶圓全片一次壓印。也可作為 200mm/300mm 的橋接機台使用。
採完全模組化配置,最多可替換搭載 8 組壓印與前處理的製程模組,也能並列多組 SmartNIL 模組。並整合低力脫模、含冷卻的溫度控制,以及工作印模(working stamp)的製作功能。
解析度視模板與製程而定,可形成 40nm 以下的結構,也支援含 3D 在內的各種形狀,以及在高低差大的表面上壓印。用於 AR/VR 頭戴裝置用光學元件、3D 感測器、生醫、奈米光子學、超穎表面等的量產。