HERCULES® NIL 300 mm

洗浄・レジスト塗布・ベークと SmartNIL 方式のウェーハレベルナノインプリントを1台に統合したトラックシステム。

HERCULES NIL 300 mmとは

HERCULES NIL 300mm は、EV Group（EVG）の UV ナノインプリント（UV-NIL）量産システムです。EVG 独自の SmartNIL 技術を使い、最大 300mm の基板に対してウェーハ全面を一括でインプリントします。200mm／300mm のブリッジツールとしても使えます。

完全なモジュール構成で、インプリントと前処理のプロセスモジュールを最大 8 基まで入れ替えて搭載でき、複数の SmartNIL モジュールを並べることもできます。低い力での離型、冷却を含む温度制御、作業用スタンプの製作機能も統合しています。

解像度はテンプレートとプロセスによりますが 40nm 以下の構造を形成でき、3D を含むさまざまな形状や、段差の大きい表面へのインプリントにも対応します。AR/VR ヘッドセット用の光学素子、3D センサー、バイオメディカル、ナノフォトニクス、メタサーフェスなどの量産に使われます。

主な特長

•SmartNIL による全面一括の UV ナノインプリント
•最大 8 基のプロセスモジュール（インプリント・前処理）
•40nm 以下の構造、3D 形状にも対応
•作業用スタンプの製作機能を統合

主な仕様

方式	UV ナノインプリント（SmartNIL・ウェーハ一括）
特徴	前処理を統合したモジュール構成・200/300 mm ブリッジ
主要用途	AR/VR 光学素子・3D センサー・ナノフォトニクス

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

スペック比較

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目	キヤノン（Canon）FPA-1200NZ2C	EV GroupHERCULES® NIL 300 mm
方式	ナノインプリント（ステップ＆リピート）	UV ナノインプリント（SmartNIL・ウェーハ一括）
特徴	光学系を介さず低消費電力・低コスト	前処理を統合したモジュール構成・200/300 mm ブリッジ
主要用途	先端ロジック・メモリの回路形成	AR/VR 光学素子・3D センサー・ナノフォトニクス