FCS-P8500 是 Fujikin 的壓力控制式流量控制器(FCS)。結合高精度壓力感測器與孔口,一邊監控孔口上游與下游的壓力,一邊以控制閥控制氣體流量。
流量範圍為每分鐘 1~1,000cm³,過去需要 3 台的範圍以 1 台即可涵蓋。量程比(rangeability)擴大為舊機型的 10 倍,流量控制精度提高為舊機型的 40 倍。將大流量與小流量 2 組系統整合於 1 個機殼,切換流量時也以 2% 以下的過衝無縫控制。低流量區的高精度保證範圍也大幅擴大。
用於半導體製造設備之薄膜沉積・蝕刻製程的製程氣體供應,支援多種氣體,可在氣體箱內容納 3 種氣體供應系統。通訊支援 EtherCAT、DeviceNet、RS485 3 種方式。