最後更新:2026年10月23日質量流量控制器(MFC)

FCS-P8500的特點與規格

Fujikin・質量流量控制器(MFC)

Fujikin 開發的壓力控制式氣體流量控制器。以與舊機型相同的機殼,將控制範圍擴大為 10 倍、精度提高為 40 倍。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

FCS-P8500 是 Fujikin 的壓力控制式流量控制器(FCS)。結合高精度壓力感測器與孔口,一邊監控孔口上游與下游的壓力,一邊以控制閥控制氣體流量。

流量範圍為每分鐘 1~1,000cm³,過去需要 3 台的範圍以 1 台即可涵蓋。量程比(rangeability)擴大為舊機型的 10 倍,流量控制精度提高為舊機型的 40 倍。將大流量與小流量 2 組系統整合於 1 個機殼,切換流量時也以 2% 以下的過衝無縫控制。低流量區的高精度保證範圍也大幅擴大。

用於半導體製造設備之薄膜沉積・蝕刻製程的製程氣體供應,支援多種氣體,可在氣體箱內容納 3 種氣體供應系統。通訊支援 EtherCAT、DeviceNet、RS485 3 種方式。

主要規格

量測方式壓力式(孔口音速條件)
精度・響應響應 0.5 秒以下
特點不受供應壓力變動影響・不限氣體種類
主要用途薄膜沉積・蝕刻的氣體供應

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

壓力控制式(監控孔口上下游壓力)
以 1 台涵蓋流量 1~1,000cm³/min
量程比 10 倍・精度 40 倍(與舊機型相比)
大小 2 組系統整合於 1 個機殼

主要用途

  • 薄膜沉積・蝕刻設備的製程氣體流量控制

製造商

Fujikin(總部:日本)

所屬設備分類

相關用語

同分類的其他機型

Fujikin的其他機型

資料來源

  1. Fujikin 官方產品頁面:FCS-P8500