FCS®-P8500

フジキンが開発した圧力制御式のガス流量コントローラ。従来機と同じ筐体で制御範囲を 10 倍、精度を 40 倍にした。

FCS-P8500とは

FCS-P8500 は、フジキンの圧力制御式流量コントローラー（FCS）です。高精度の圧力センサーとオリフィスを組み合わせ、オリフィスの上流と下流の圧力を監視しながらコントロールバルブでガス流量を制御します。

流量範囲は毎分 1〜1,000cm³ で、従来は 3 台必要だった範囲を 1 台でカバーします。レンジアビリティを従来比 10 倍に広げ、流量制御精度を従来比 40 倍に高めました。大流量と小流量の 2 系統を 1 つの筐体に統合し、流量を切り替えるときもオーバーシュート 2% 以下でシームレスに制御します。低流量域での高精度の保証範囲も大きく広がりました。

半導体製造装置の成膜・エッチング工程のプロセスガス供給に使われ、複数のガス種に対応し、ガスボックス内に 3 種類のガス供給系を収められます。通信は EtherCAT、DeviceNet、RS485 の 3 方式に対応します。

主な特長

•圧力制御式（オリフィス上下流の圧力を監視）
•流量 1〜1,000cm³/min を 1 台で
•レンジアビリティ 10 倍・精度 40 倍（従来比）
•大小 2 系統を 1 筐体に統合

主な仕様

測定方式	圧力式（オリフィス音速条件）
精度・応答	応答 0.5 秒以下
特徴	供給圧変動の影響を受けない・ガス種を選ばない
主要用途	成膜・エッチングのガス供給

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

スペック比較

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目	堀場製作所CRITERION D500	MKS InstrumentsGE50A	フジキン（Fujikin）FCS®-P8500
測定方式	圧力式（層流域差圧検出）	熱式	圧力式（オリフィス音速条件）
精度・応答	±1% S.P.・応答 0.8 秒	±1% of S.P.・応答約 500 ms	応答 0.5 秒以下
特徴	PI 機能・マルチガス／マルチレンジ・自己診断	RS485／EtherCAT／DeviceNet など選択可	供給圧変動の影響を受けない・ガス種を選ばない
主要用途	先端プロセスのガス流量制御	半導体・電子部品製造のガス流量制御	成膜・エッチングのガス供給