質量流量控制器（MFC）是什麼
質量流量控制器（MFC）是一邊量測氣體的質量流量，一邊以內建控制閥將流量維持在設定值的機器。主流為從流經感測管之氣體所攜帶的熱量求出流量的熱式，薄膜沉積・蝕刻設備的氣體箱中，每台設備排列十幾台至數十台。以±1%左右的精度控制數sccm至數十slm的範圍，在步驟短的ALD或脈衝製程中，響應速度特別重要。對入口壓力變動較強的壓力式・壓力變動補償型的採用也在擴大。
重點整理
量測氣體質量流量，並以控制閥維持在設定值的機器
從感測管的熱傳遞求出流量的熱式為主流
每台設備的氣體箱搭載十幾至數十台
在ALD等短步驟工序中，響應速度與耐壓力變動性很重要
常見問題
熱式MFC與壓力式MFC有什麼不同？
熱式是從氣體攜帶的熱量求出質量流量的方式，泛用性高；壓力式是從孔口前後的壓力求出流量的方式，特點是響應快，且不易受入口壓力變動的影響。
sccm是什麼單位？
是以cm³表示換算為標準狀態（0℃・1大氣壓）的每1分鐘流量的單位。slm則表示相同條件下的每分鐘公升數。