FOC300 系列是芝浦機電（Shibaura Mechatronics）的 FOSB／FOUP 清洗設備。從裝載到卸載，全自動進行盒體與門蓋的拆解、清洗、乾燥與組裝。
清洗使用自家的 2 流體噴嘴，乾燥則在真空腔體中併用燈管加熱器，於 10Pa 以下的減壓下進行。產能依配方為每小時 30 個，對應 300mm 晶圓用容器，並支援 GEM300 標準。
微粒去除率 95% 以上，氨等吸附氣體的去除率 80% 以上，廠商表示性能較以往提升 5 倍以上。廢水微粒量測、氣體分析・濕度檢查、外觀檢查功能可選配追加，並符合 SEMI、CE 等國際規範。