Park NX-Wafer 是 Park Systems 用於線上量測的原子力顯微鏡（AFM）。針對 300mm 晶圓最佳化，另有 200mm 用的 NX-Wafer200。從晶圓傳送到量測、分析皆全自動執行。
可自動更換最多 24 支預先裝載的探針，支援以 EFEM 自動傳送晶圓，以及透過 SECS/GEM 與晶圓廠主機通訊。採用將 XY 與 Z 掃描器分開的正交掃描方式，並使用可防止探針磨耗與試料損傷的 True Non-Contact 模式。也支援接觸模式與輕敲模式。
達成 ISO 潔淨度等級 1，並符合 SEMI 標準（E30、E40、E87、E90、E94、E84）。用途包括微透鏡等的 3D 奈米量測、含碟陷（dishing）與侵蝕（erosion）的 CMP 局部・全面平坦度量測、高深寬比溝槽量測、Cu 墊的高速量測，以及對檢測設備所發現缺陷的自動複檢（ADR）。