最後更新:2026年10月23日測漏儀(Leak Detector)

ASM 340 系列的特點與規格

普發真空(Pfeiffer Vacuum)・測漏儀(Leak Detector)

真空法・吸槍法皆可使用的多用途測漏儀,乾式版 ASM 340 D 面向半導體。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

ASM 340 是普發真空(Pfeiffer Vacuum)的氦氣測漏儀。可偵測從 100hPa 至試驗壓力的大洩漏,因此即使設備有洩漏而無法抽至試驗壓力,也能找出洩漏位置。

油潤滑機型配備同尺寸等級中最大的油旋轉式前級幫浦,實現短循環時間。回應非常快,感測器的恢復時間也短。同時對應找出洩漏位置的定性試驗,以及整體・局部的定量試驗。

具備無需特別訓練即可使用的大型高解析度觸控面板,可將試驗資料以影像或文字儲存於內部記憶體並以 USB 取出。也有用於與 PC 或 PLC 自動化連接的介面板。有標準的 ASM 340、採用無污染乾式隔膜幫浦的 ASM 340 D,以及系統整合用、不含前級幫浦的 ASM 340 I。

主要規格

偵測方式氦氣(真空法・吸槍法)
抽氣・架構油旋轉或隔膜(乾式)前級幫浦
主要用途半導體等潔淨環境中的洩漏檢測

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

可偵測自 100hPa 起的大洩漏
回應快且感測器恢復時間短
大型觸控面板・資料儲存・USB
標準/乾式(D)/整合用(I)3 種

主要用途

  • 半導體製造設備的測漏試驗
  • 零件・系統的定性・定量測漏試驗

製造商

普發真空(Pfeiffer Vacuum)(總部:德國)

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資料來源

  1. 普發真空(Pfeiffer Vacuum)官方產品頁面:Pfeiffer Vacuum ASM