ASM 340 シリーズ

真空法・スニッフィング法の両方に使える多目的リークディテクタ。ドライ版 ASM 340 D は半導体向け。

ASM 340 シリーズとは

ASM 340 は、Pfeiffer Vacuum のヘリウムリークディテクタです。100hPa から試験圧力までの大きな漏れも検出できるため、装置に漏れがあって試験圧力まで引けない場合でも、漏れの場所を見つけられます。

油潤滑の機種は、そのサイズクラスで最大の油回転式バッキングポンプを備え、短いサイクルタイムを実現します。応答は非常に速く、センサーの回復時間も短くなっています。漏れの位置を探す定性試験と、全体・局所の定量試験の両方に対応します。

特別な訓練なしに使える大きな高解像度タッチパネルを持ち、試験データを内部メモリに画像やテキストで保存して USB で取り出せます。PC や PLC との自動化用のインターフェースボードもあります。標準の ASM 340、汚染のないドライ式ダイヤフラムポンプの ASM 340 D、システム組み込み用でバッキングポンプのない ASM 340 I があります。

主な特長

•100hPa からの大きな漏れも検出
•速い応答と短いセンサー回復時間
•大型タッチパネル・データ保存・USB
•標準／ドライ（D）／組み込み（I）の 3 種

主な仕様

検出方式	ヘリウム（真空法・スニッフィング法）
排気・構成	油回転またはダイヤフラム（ドライ）背圧ポンプ
主要用途	半導体など清浄環境での漏れ検査

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

スペック比較

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目	ULVAC（アルバック）HELIOT 900 シリーズ	Pfeiffer VacuumASM 340 シリーズ
検出方式	ヘリウム（水素モード標準）	ヘリウム（真空法・スニッフィング法）
排気・構成	ヘリウム排気速度 5 L/s・油回転／スクロールドライ背圧ポンプ	油回転またはダイヤフラム（ドライ）背圧ポンプ
主要用途	真空装置・部品の漏れ検査	半導体など清浄環境での漏れ検査