測漏儀（Leak Detector）是什麼

測漏儀（Leak Detector）是檢出真空系統洩漏位置與洩漏量的設備。標準方式是氦氣測漏儀：以分子量小、大氣中含量少的氦氣作為示蹤氣體，從外側噴吹，再以質譜儀檢出滲入內部的部分。可定量至 10⁻¹⁰Pa·m³/s 級的微小洩漏，大幅縮短設備安裝時・維護後的啟動時間。在半導體領域也用於確認有毒氣體配管的完整性，從安全管理的觀點來看也是不可或缺的量測儀器。