最後更新:2026年10月23日測漏儀(Leak Detector)

HELIOT 900 系列的特點與規格

愛發科(ULVAC)・測漏儀(Leak Detector)

全面更新主力機種 HELIOT 710 的氦氣測漏儀,提高抽氣速度,可由 1 人有效率地進行檢測。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

HELIOT 900 系列是愛發科(ULVAC)的氦氣測漏儀,以氦氣作為示蹤氣體,偵測真空設備或零件的微小洩漏。

最小顯示解析度在 He ULTRA 模式下為 0.01×10⁻¹² Pa・m³/sec,是不放過微小洩漏的高靈敏度設計。氦氣抽氣速度為 5L/sec,藉輔助幫浦可對應 30~500L/min 的範圍。真空法與吸槍法皆可使用。

以無線控制器可在 40m 外操作,維修面板可輕鬆拆卸,維護也很容易。機型有搭載油旋轉幫浦的 901W1(~5L・攜帶型)與 904W2(~50L・行動型),以及搭載乾式幫浦的 901D2(~5L)、904D3R(~50L)、904D4R(~200L)。

主要規格

偵測方式氦氣(標準配備氫氣模式)
抽氣・架構氦氣抽氣速度 5 L/s・油旋轉/渦卷乾式前級幫浦
主要用途真空設備・零件的洩漏檢測

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

最小顯示解析度 0.01×10⁻¹² Pa・m³/s
同時對應真空法・吸槍法
無線控制器(40m)
油旋轉/乾式幫浦共 5 種機型

主要用途

  • 半導體製造設備・真空零件的測漏試驗

製造商

愛發科(ULVAC)(總部:日本)

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資料來源

  1. 愛發科(ULVAC)官方產品頁面:HELIOT 900