MBE 6000的特點與規格

MBE 6000 是 Riber 的量產用 MBE（分子束磊晶）設備。廠商將其定位為「高產能與再現性的 MBE 標竿」，已被全球大型半導體企業採用為量產設備。

可在 3 吋、4 吋、6 吋、200mm 各尺寸同時成長多片晶圓，具高產能與再現性。連續運轉（campaign）超過 1 年的穩定性已獲證實，工廠中也有並排 2～8 台運作的案例。

主要用途為微波元件用材料，特別是 P-HEMT 晶圓的製造，以及含砷・磷・銻的光元件材料。用於磊晶晶圓外售廠商及自家內部的磊晶生產。