Soitec 的 FD-SOI 晶圓是以 Smart Cut 技術製造的 SOI(絕緣層上覆矽)晶圓。用作製造全空乏型(FD)電晶體的基板。
Smart Cut 是從某片基板切出晶體薄層、轉移到另一片基板的技術。Soitec 將此技術以工業規模實用化。目前全球銷售的 SOI 晶圓幾乎全部以此技術製造。
Soitec 在法國的 3 座工廠擁有合計 4,500m² 的無塵室,生產 200mm~300mm 的 SOI 晶圓。在新加坡設有 FD-SOI 的試產線。
以將晶體薄層轉移到另一片基板的 Soitec Smart Cut 技術製造的 SOI 晶圓。全球銷售的 SOI 晶圓幾乎全部以此技術製造。
Soitec 的 FD-SOI 晶圓是以 Smart Cut 技術製造的 SOI(絕緣層上覆矽)晶圓。用作製造全空乏型(FD)電晶體的基板。
Smart Cut 是從某片基板切出晶體薄層、轉移到另一片基板的技術。Soitec 將此技術以工業規模實用化。目前全球銷售的 SOI 晶圓幾乎全部以此技術製造。
Soitec 在法國的 3 座工廠擁有合計 4,500m² 的無塵室,生產 200mm~300mm 的 SOI 晶圓。在新加坡設有 FD-SOI 的試產線。
| 製法 | Smart Cut(貼合+層分離) |
|---|---|
| 口徑 | 200 mm ~ 300 mm |
| 生產據點 | 法國 3 座工廠(FD-SOI 試產線在新加坡) |
| 主要用途 | 低功耗處理器・通訊 SoC |
規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。
Soitec(總部:法國)