系列 02.4 是使用 VAT MONOVAT 機構的大型傳送真空閥。用於開閉交接大型基板的開口部。標準尺寸為 50×500mm 至 150×1,600mm,也可對應特殊尺寸。
設計精簡、安裝尺寸小,閘門無衝擊動作,對製程產生的堆積物也具耐受性。特點是運轉成本低、週期時間短、保養工作少。
致動器為氣壓雙動式,本體為鋁製,洩漏率低於 1×10⁻⁹mbar l/s。首次維修檢查前可承受 100 萬次動作,開閉時間在開口高度 100mm 時為 1.5 秒以下。主要用途為至第 6 代的顯示器製造、太陽電池、有機 EL 蒸鍍、離子佈植等。