最後更新:2026年10月23日高真空零組件(閥門・法蘭)

02.4 大型傳送閥的特點與規格

VAT・高真空零組件(閥門・法蘭)

以 MONOVAT 密封技術讓閘門無衝擊開閉,抑制微粒與密封磨耗的大型傳送閥。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

系列 02.4 是使用 VAT MONOVAT 機構的大型傳送真空閥。用於開閉交接大型基板的開口部。標準尺寸為 50×500mm 至 150×1,600mm,也可對應特殊尺寸。

設計精簡、安裝尺寸小,閘門無衝擊動作,對製程產生的堆積物也具耐受性。特點是運轉成本低、週期時間短、保養工作少。

致動器為氣壓雙動式,本體為鋁製,洩漏率低於 1×10⁻⁹mbar l/s。首次維修檢查前可承受 100 萬次動作,開閉時間在開口高度 100mm 時為 1.5 秒以下。主要用途為至第 6 代的顯示器製造、太陽電池、有機 EL 蒸鍍、離子佈植等。

主要規格

種類傳送閥(大型矩形)
耐久性首次維修前 100 萬次
主要用途有機材料蒸鍍等高循環次數的生產設備

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

MONOVAT 機構的大型傳送閥
50×500mm~150×1,600mm
無衝擊的閘門動作・耐堆積物
開閉 1.5 秒以下、100 萬次耐久

主要用途

  • 顯示器・太陽電池的製造設備
  • 離子佈植機

製造商

VAT(總部:瑞士)

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資料來源

  1. VAT 官方產品頁面:VAT 02.4