02.4 ラージトランスファーバルブ（MONOVAT）

MONOVAT シール技術でゲートを衝撃なく開閉し、パーティクルとシール摩耗を抑える大型トランスファーバルブ。

02.4 ラージトランスファーバルブとは

シリーズ 02.4 は、VAT の MONOVAT 機構を使う大型トランスファー真空バルブです。大きな基板を受け渡す開口部を開閉します。標準サイズは 50×500mm から 150×1,600mm で、特殊サイズにも対応します。

コンパクトで取り付け寸法が小さく、ゲートが衝撃なく動き、プロセスで生じる堆積物にも強い設計です。運用コストが低く、サイクルタイムが短く、メンテナンスの手間が少ないのが特長です。

アクチュエーターは空圧複動式、本体はアルミニウム、リーク率は 1×10⁻⁹mbar l/s 未満です。最初のサービス点検までに 100 万回の動作に耐え、開閉時間は開口高さ 100mm で 1.5 秒以下です。主な用途は、第 6 世代までのディスプレイ製造、太陽電池、有機 EL の蒸着、イオン注入などです。

主な特長

•MONOVAT 機構の大型トランスファーバルブ
•50×500mm〜150×1,600mm
•衝撃のないゲート動作・堆積物に強い
•開閉 1.5 秒以下、100 万回耐久

主な仕様

種類	トランスファーバルブ（大型矩形）
耐久性	初回サービスまで 100 万回
主要用途	有機材料蒸着など高サイクル生産設備

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

スペック比較

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目	VAT Group04.2 トランスファーバルブ（L-VAT）	VAT Group02.4 ラージトランスファーバルブ（MONOVAT）
種類	トランスファーバルブ（高真空）	トランスファーバルブ（大型矩形）
耐久性	初回サービスまで最大 300 万回	初回サービスまで 100 万回
主要用途	半導体装置のチャンバー間搬送口	有機材料蒸着など高サイクル生産設備