最後更新:2026年10月23日高真空零組件(閥門・法蘭)

04.2 傳送閥的特點與規格

VAT・高真空零組件(閥門・法蘭)

可長期免保養使用的 VAT 高真空傳送閥。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

系列 04.2 是使用 VAT L-VAT 機構的高真空傳送閥。在半導體製造設備中,開閉製程腔體之間或與傳送室之間交接晶圓的開口部,以隔離真空。

尺寸為 46×236mm 與 50×336mm。以 L-VAT 技術實現平順、低衝擊的動作,在腐蝕性製程條件下也能確實動作。以波紋管密封的軸貫穿部與硫化成型的閘門密封件,將微粒產生降至最低。免保養運轉達 300 萬次以上。

壓力範圍為 1×10⁻⁹mbar 至 1.2bar(絕對壓力),洩漏率本體・閥座均低於 1×10⁻⁹mbar l/s,使用溫度為 50~120°C。致動器為附位置顯示的氣壓雙動式,停電時的氣壓鎖定也可選配。密封件可從 FKM 與 FFKM 中選擇。

主要規格

種類傳送閥(高真空)
耐久性首次維修前最多 300 萬次
主要用途半導體設備的腔體間傳送口

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

以 L-VAT 實現低衝擊動作
波紋管密封・硫化閘門密封,低發塵
300 萬次以上免保養
洩漏率低於 1×10⁻⁹mbar l/s

主要用途

  • 製程腔體間的晶圓傳送
  • Load Lock 室・腐蝕性蝕刻/CVD 腔體的隔離

製造商

VAT(總部:瑞士)

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資料來源

  1. VAT 官方產品頁面:VAT 04.2