系列 04.2 是使用 VAT L-VAT 機構的高真空傳送閥。在半導體製造設備中,開閉製程腔體之間或與傳送室之間交接晶圓的開口部,以隔離真空。
尺寸為 46×236mm 與 50×336mm。以 L-VAT 技術實現平順、低衝擊的動作,在腐蝕性製程條件下也能確實動作。以波紋管密封的軸貫穿部與硫化成型的閘門密封件,將微粒產生降至最低。免保養運轉達 300 萬次以上。
壓力範圍為 1×10⁻⁹mbar 至 1.2bar(絕對壓力),洩漏率本體・閥座均低於 1×10⁻⁹mbar l/s,使用溫度為 50~120°C。致動器為附位置顯示的氣壓雙動式,停電時的氣壓鎖定也可選配。密封件可從 FKM 與 FFKM 中選擇。