高真空零組件（閥門・法蘭）是什麼

高真空零組件是構成真空腔體與配管的閘閥、法蘭、伸縮管、接頭等零件群。極限壓力不只取決於幫浦性能，也取決於密封部位的洩漏與構件表面的釋氣，因此零件的材質與表面處理左右真空品質。負責負載鎖定室（Load Lock）開閉的閘閥，要求數十萬次的動作壽命與低微粒產生，是設備可動部件中最嚴苛的零件之一。依所需極限壓力，分別使用 CF 法蘭的金屬密封與 KF/ISO 的橡膠密封。