04.2 トランスファーバルブとは
シリーズ 04.2 は、VAT の L-VAT 機構を使う高真空トランスファーバルブです。半導体製造装置で、プロセスチャンバー間や搬送室とのあいだでウェーハを受け渡す開口部を開閉し、真空を隔離します。
サイズは 46×236mm と 50×336mm です。L-VAT 技術によって滑らかで衝撃の少ない動作をし、腐食性のプロセス条件でも確実に動作します。ベローズでシールした軸貫通部と、加硫成形したゲートシールでパーティクルの発生を最小限に抑えます。メンテナンスフリーの運転は 300 万回以上です。
圧力範囲は 1×10⁻⁹mbar から 1.2bar（絶対圧）、リーク率は本体・シートとも 1×10⁻⁹mbar l/s 未満、使用温度は 50〜120°C です。アクチュエーターは位置表示付きの空圧複動式で、停電時の空圧ロックもオプションで選べます。シールは FKM と FFKM から選べます。
主な特長
- •L-VAT による低衝撃の動作
- •ベローズシール・加硫ゲートシールで低発塵
- •300 万回以上のメンテナンスフリー
- •リーク率 1×10⁻⁹mbar l/s 未満
主な仕様
| 種類 | トランスファーバルブ（高真空） |
|---|---|
| 耐久性 | 初回サービスまで最大 300 万回 |
| 主要用途 | 半導体装置のチャンバー間搬送口 |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | VAT Group04.2 トランスファーバルブ（L-VAT） | VAT Group02.4 ラージトランスファーバルブ（MONOVAT） |
|---|---|---|
| 種類 | トランスファーバルブ（高真空） | トランスファーバルブ（大型矩形） |
| 耐久性 | 初回サービスまで最大 300 万回 | 初回サービスまで 100 万回 |
| 主要用途 | 半導体装置のチャンバー間搬送口 | 有機材料蒸着など高サイクル生産設備 |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •プロセスチャンバー間のウェーハ搬送
- •ロードロック・腐食性エッチ／CVD チャンバーの隔離
掲載カテゴリ
04.2 トランスファーバルブは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
VAT Group
真空バルブの世界最大手。半導体製造装置のロードロックとプロセスチャンバーを仕切るゲートバルブ／スリットバルブ、圧力制御バルブで圧倒的なシェアを持つスイス企業。
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関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-06