Brooks Automation
半導体製造向けの自動化ソリューションを供給する米国企業。ウェハ搬送ロボットとEFEM、ロードポートに加え、CTI-Cryogenicsブランドのクライオポンプを手掛ける。
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当サイトでの位置づけ
装置の生産性は、プロセスそのものよりウェハの受け渡しに何秒かかるかで決まる場面が多くあります。Semirai の装置部品カテゴリでは、搬送系と真空系の両方に食い込んでいる稀な例として位置づけられます。
企業の強み
ウェハ搬送ロボットとEFEMで世界大手
CTI-Cryogenicsのクライオポンプを擁する
装置メーカー向けOEM供給の実績
主要製品・ソリューション
搬送機器
- •ウェハ搬送ロボット
- •EFEM
- •ロードポート
真空機器
- •クライオポンプ
- •真空ロボット
関連装置カテゴリ
半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、Brooks Automationを含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
関連用語
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