ウェハ搬送ロボット・ハンドリングメーカー7社
ウェハ搬送ロボット・ハンドリングシステムは、キャリアとプロセスチャンバの間でウェハを掴み、運び、置くための機構です。大気側のEFEM内で動く多関節ロボットと、真空中で動作する真空ロボットがあり、後者は潤滑剤の蒸発を避ける特殊なベアリングと磁性流体シールを使います。ウェハ裏面に触れる部分は発塵源になるためエッジグリップやベルヌーイチャックが用いられ、位置決め精度は±0.1mm級が要求されます。ロボットの動作速度が装置スループットの上限を決めることも珍しくありません。
主要特徴
メーカー
7社の主要メーカー
半導体ウェハ搬送ロボット・EFEM（装置フロントエンドモジュール）・ソーターの専業大手。装置メーカーへOEM供給し、クリーンな搬送自動化で高い世界シェアを持つ。
- •ウェハ搬送ロボット・EFEMで高い世界シェア
- •真空・大気搬送からソーターまで一貫した搬送ソリューション
サーボモータ・インバータ・産業用ロボットの大手メーカー。半導体分野では大気搬送・真空搬送に対応したクリーンロボットを供給し、装置内および装置間のウェハ搬送を担う。
- •サーボ技術を核とした高速・高精度な搬送
- •大気用・真空用の双方のクリーンロボット
生産システムのエンジニアリング会社。半導体分野ではウェハ搬送ユニットやEFEM、ロードポートなどを供給し、装置メーカー向けに搬送部を組み込む形で事業を展開する。
- •生産ラインのインテグレーション力
- •ウェハ搬送ユニットの設計・製造
電力機器・溶接機を源流とするメーカー。半導体分野ではウェハ搬送ロボットに加え、プラズマ装置向けの高周波電源と整合器（マッチングボックス）を供給する。
- •高周波電源と整合器を自社設計
- •大気・真空対応のウェハ搬送ロボット
コーター・デベロッパ（塗布現像装置）やウェハ搬送装置を手掛ける国内装置メーカー。半導体・ディスプレイ両分野向けの精密搬送・塗布技術を展開する。
- •コーター・デベロッパに強み
- •半導体・ディスプレイ両分野に対応
クリーン搬送機器のメーカー。FOUPを装置に接続するロードポートと、その内部でウェハを搬送するEFEM（装置フロントエンドモジュール）で世界的なシェアを持つ。
- •ロードポートで世界トップクラスのシェア
- •EFEM・搬送ロボットの一体設計
半導体製造向けの自動化ソリューションを供給する米国企業。ウェハ搬送ロボットとEFEM、ロードポートに加え、CTI-Cryogenicsブランドのクライオポンプを手掛ける。
- •ウェハ搬送ロボットとEFEMで世界大手
- •CTI-Cryogenicsのクライオポンプを擁する
関連カテゴリ
エキシマレーザー発振器は、希ガスとハロゲンの混合ガスを放電励起して紫外光を出す光源です。
メーカー 3 社超音波・メガソニック振動子超音波・メガソニック振動子は、洗浄液に高周波の音波を与え、その物理力でウェハ表面のパーティクルを剥離させる部品です。
メーカー 2 社光学系ユニット・UVランプ光学系ユニット・UVランプは、装置内で光を作り、整形し、必要な場所へ導くための部品群です。
メーカー 5 社各種センサ・モータ各種センサ・モータは、装置の状態を検出し、機構を動かすための基礎部品です。
メーカー 6 社精密ステージ・干渉計精密ステージ・干渉計は、ウェハを保持して移動させ、その位置をnm精度で測定するユニットです。
メーカー 3 社除振システム除振システムは、床から伝わる振動や装置自身が出す振動を遮断し、精密ユニットを静かな環境に置くための機構です。
メーカー 4 社