Heidelberg Instruments
1984年創業のドイツのマスクレス露光装置メーカー。マスクレスアライナー、レーザー描画装置、マスクレスステッパー、フォトマスク描画装置、熱走査プローブ方式のナノリソグラフィ装置を提供する。
ドイツ・装置メーカー・公式サイト ↗
当サイトでの位置づけ
Semirai の露光装置カテゴリでは、マスクレスアライナーとレーザー描画装置を研究開発から量産まで揃える直接描画の専業メーカーとして位置づけられます。
企業の強み
マスクレスレーザーリソグラフィの専業
研究用から産業用までのマスクレスアライナー
フォトマスク描画装置も手がける
主要製品・ソリューション
マスクレス露光
- •MLA マスクレスアライナー
- •DWL レーザー描画装置
- •VPG 300 DI マスクレスステッパー
描画・ナノリソ
- •半導体マスク描画装置 ULTRA
- •NanoFrazor
半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、Heidelberg Instrumentsを含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
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