Honeywell Electronic Materials
米国ハネウェルの電子材料部門。半導体製造向け特殊ガス（NF3・WF6・HF）・フォトレジスト・低誘電率（Low-k）絶縁材料・CMP薬液を提供。
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当サイトでの位置づけ
Semiraiの特殊ガス・低誘電率材料カテゴリでは、WF6・NF3等の超高純度プロセスガスとLow-k絶縁材料（ACCUFLO）を提供するハネウェルの電子材料部門として参照されます。
企業の強み
半導体プロセス向け超高純度特殊ガス（WF6・NF3・HF）を大手FABに供給
高分子フォトレジスト・Low-k絶縁材料（ACCUFLO）で実績
ハネウェルの化学・材料プロセス技術を半導体材料に応用
主要製品・ソリューション
特殊ガス
- •WF6（タングステン成膜用）
- •超高純度NF3
- •HF
誘電体材料
- •ACCUFLO（Low-k絶縁材）
- •スピンオングラス（SOG）
関連装置カテゴリ
半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、Honeywell Electronic Materialsを含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
関連用語
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