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ライカマイクロシステムズ

光学顕微鏡・共焦点顕微鏡のグローバル大手メーカー。半導体ウェハ検査・パッケージ断面観察向けの高精度光学顕微鏡システムを供給する。

🌐 ドイツ装置メーカー公式サイト

当サイトでの位置づけ

Semirai の検査装置カテゴリでは、光学顕微鏡のグローバル大手として、ウェハ・パッケージの外観検査を支える立場にあります。

企業の強み

光学顕微鏡で世界トップクラスのブランド力
共焦点・実体顕微鏡を幅広く展開
半導体外観検査向け専用システムを保有

主要製品・ソリューション

検査・観察装置

  • 光学顕微鏡
  • 共焦点顕微鏡

📊 半導体製造装置メーカーの世界シェア&カオスマップ

ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、ライカマイクロシステムズを含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。

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比較・違いを学ぶ

電子ビーム検査と光学検査の違い(欠陥検査方式の比較)
電子ビーム検査(E-beam Inspection)は電子ビームでウェハを走査し二次電子・反射電子像から欠陥を検出する方式で、数nm級の微小欠陥や配線のオープン
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