パークシステムズ(Park Systems)

原子間力顕微鏡(AFM)の専業メーカー。半導体ウェハ表面の粗さ・段差をナノメートル精度で測定する計測装置を開発・供給する韓国発の企業。

韓国・装置メーカー・公式サイト ↗

当サイトでの位置づけ

Semirai の計測装置カテゴリでは、原子間力顕微鏡(AFM)の専業メーカーとして、ナノスケールの表面形状評価を支える立場にあります。

企業の強み

AFMで世界有数のシェア
非破壊・高精度な表面形状計測に強み
半導体・材料研究向けに幅広く展開

主要製品・ソリューション

計測装置

  • •原子間力顕微鏡(AFM)

パークシステムズ(Park Systems)の製品

半導体製造装置メーカーの世界シェア&カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、パークシステムズ(Park Systems)を含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
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電子ビーム検査と光学検査の違い(欠陥検査方式の比較)
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SEMとTEMはどちらも電子線を使う顕微鏡で、光学顕微鏡では見えないナノメートル領域を観察するために使われます。名前は似ていますが、電子と試料の関わり方が根本的…
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どちらも半導体の電気特性を測る基本手法ですが、得られる情報の量が違います。四探針法は抵抗率という1つの値を素早く測れる一方、その値の内訳までは教えてくれません。…
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XPSとEDXは、どちらも半導体の分析でよく使われる元素の分析方法で、名前にX線が入っているため混同されがちです。しかし、当てるものも測るものも違い、得られる情…
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