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パークシステムズ(Park Systems)

原子間力顕微鏡(AFM)の専業メーカー。半導体ウェハ表面の粗さ・段差をナノメートル精度で測定する計測装置を開発・供給する韓国発の企業。

🌐 韓国装置メーカー公式サイト

当サイトでの位置づけ

Semirai の計測装置カテゴリでは、原子間力顕微鏡(AFM)の専業メーカーとして、ナノスケールの表面形状評価を支える立場にあります。

企業の強み

AFMで世界有数のシェア
非破壊・高精度な表面形状計測に強み
半導体・材料研究向けに幅広く展開

主要製品・ソリューション

計測装置

  • 原子間力顕微鏡(AFM)

📊 半導体製造装置メーカーの世界シェア&カオスマップ

ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、パークシステムズ(Park Systems)を含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。

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比較・違いを学ぶ

電子ビーム検査と光学検査の違い(欠陥検査方式の比較)
電子ビーム検査(E-beam Inspection)は電子ビームでウェハを走査し二次電子・反射電子像から欠陥を検出する方式で、数nm級の微小欠陥や配線のオープン
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