パークシステムズ(Park Systems)
原子間力顕微鏡(AFM)の専業メーカー。半導体ウェハ表面の粗さ・段差をナノメートル精度で測定する計測装置を開発・供給する韓国発の企業。
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当サイトでの位置づけ
Semirai の計測装置カテゴリでは、原子間力顕微鏡(AFM)の専業メーカーとして、ナノスケールの表面形状評価を支える立場にあります。
企業の強み
AFMで世界有数のシェア
非破壊・高精度な表面形状計測に強み
半導体・材料研究向けに幅広く展開
主要製品・ソリューション
計測装置
- •原子間力顕微鏡(AFM)
パークシステムズ(Park Systems)の製品
半導体製造装置メーカーの世界シェア&カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、パークシステムズ(Park Systems)を含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
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