COMPANY DATABASE
Hermes Microvision（HMI）
電子ビーム（eビーム）を用いたウェハ・マスク欠陥検査装置の専業メーカー。2016年にASMLが買収し、EUVリソグラフィ向け欠陥検出・レビュー技術を強化する役割を担う。
当サイトでの位置づけ
Semirai の検査装置カテゴリでは、ASML傘下のeビーム欠陥検査専業メーカーとして、EUVマスク・ウェハ検査の高感度化を支える立場にあります。
企業の強み
eビーム欠陥検査でトップクラスの検出感度
ASML傘下でEUV関連技術と密接に連携
マスク・ウェハ双方の検査に対応
主要製品・ソリューション
検査装置
- •eビームウェハ検査装置
- •eビームレビュー装置
📊 半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、Hermes Microvision（HMI）を含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
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