三菱電線工業

電線・ケーブルと高性能シールを手掛けるメーカー。半導体製造装置向けには、プラズマ耐性と低パーティクル性を両立させた高機能シール材を供給する。

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当サイトでの位置づけ

先端プロセスではフッ素系プラズマにさらされるシールの寿命が装置の稼働率に直結します。Semirai の装置部品カテゴリでは、その高機能シール材の国内供給元として位置づけられます。

企業の強み

半導体製造装置向け高性能シールの専門ライン
フッ素ゴムなど耐プラズマ材料の開発力
電線事業で培った材料技術の基盤

主要製品・ソリューション

シール材

  • •半導体製造装置用Oリング
  • •高機能ガスケット

電線・ケーブル

  • •平角マグネットワイヤ
  • •各種ケーブル

関連装置カテゴリ

半導体製造装置メーカーの世界シェア&カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、三菱電線工業を含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
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