NTKセラテック

ファインセラミックスの総合メーカー（日本特殊陶業グループ）。エッチャーやプラズマCVD装置向けに、セラミックヒーターと静電チャックを供給する。

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当サイトでの位置づけ

静電チャックとセラミックヒーターは同じ焼結体の中で吸着と加熱を両立させる部品で、材料設計そのものが性能になります。Semirai の装置部品カテゴリでは、その素材から作れるメーカーとして位置づけられます。

企業の強み

窒化アルミなど高熱伝導セラミックスの焼結技術

静電チャックとヒーターを一体で設計

高温・低温域の双方に対応

主要製品・ソリューション

装置用セラミックス

•静電チャック（ESC）
•セラミックヒーター
•サセプタ

機能材料

•圧電セラミックス
•金属複合セラミックス

関連装置カテゴリ

装置部品（静電チャック）

静電チャック（ESC）は、静電気力でウェハを保持するセラミック製のステージ部品です。

メーカー 6 社

半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ

ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、NTKセラテックを含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。

関連用語

静電チャック（ESC）とは→セラミックヒーター（AlNヒーター）とは→チャンバーライナー（デポシールド）とは→石英部品（石英ガラス部材）とは→

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