当サイトでの位置づけ
静電チャックとセラミックヒーターは同じ焼結体の中で吸着と加熱を両立させる部品で、材料設計そのものが性能になります。Semirai の装置部品カテゴリでは、その素材から作れるメーカーとして位置づけられます。
企業の強み
窒化アルミなど高熱伝導セラミックスの焼結技術
静電チャックとヒーターを一体で設計
高温・低温域の双方に対応
主要製品・ソリューション
装置用セラミックス
- •静電チャック（ESC）
- •セラミックヒーター
- •サセプタ
機能材料
- •圧電セラミックス
- •金属複合セラミックス
関連装置カテゴリ
半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、NTKセラテックを含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
関連用語
FOR COMPANIES
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