静電チャック・ホットプレートメーカー6社
静電チャック（ESC）は、静電気力でウェハを保持するセラミック製のステージ部品です。真空中では機械的なクランプや真空吸着が使えないため、電極に電圧を印加してクーロン力またはジョンセン・ラーベック力で吸着します。裏面にヘリウムを流して熱を逃がす構造と組み合わせ、プラズマ処理中のウェハ温度を面内均一に保つのが主要な役割です。誘電体材料の体積抵抗率が吸着力と脱着応答を決め、表面のエンボス形状がパーティクルと裏面傷を左右する、高度に作り込まれた部品です。
主要特徴
メーカー
6社の主要メーカー
ファインセラミックス技術を核とする国内大手メーカー。半導体パッケージ基板・水晶デバイス・電子部品を幅広く展開し、半導体実装の基盤材料を供給する。
- •セラミックパッケージ基板で世界トップクラス
- •水晶デバイス・電子部品にも強み
セラミック技術を基盤とする総合メーカー。半導体製造装置向けに静電チャック（ESC）・セラミックヒーター・サセプタなど、高純度・高耐熱のチャンバー内部材を供給する。
- •窒化アルミ（AlN）・アルミナ系セラミックの材料技術
- •静電チャック・セラミックヒーターで高いシェア
衛生陶器で知られる一方、ファインセラミック事業として半導体製造装置向けの静電チャック（ESC）を供給。多孔質セラミックの成形・焼成技術を強みとする。
- •ファインセラミックの成形・焼成技術
- •静電チャック（ESC）の主要サプライヤー
静電チャック（ESC）とチャック用電源・制御装置の専業メーカー。半導体・FPD製造装置向けに、材質・電極構造・電源をセットで設計する吸着ソリューションを提供する。
- •静電チャック専業としての設計ノウハウ
- •チャック本体と専用電源を一体で供給
シリコンウェハ・フォトレジスト材料・塩化ビニルの世界的大手。半導体向けには300mmウェハとEUVレジスト材料でトップシェア。
- •シリコンウェハ（300mm）で世界シェア約30%
- •ArF/EUV向けフォトレジスト材料で業界首位級
ファインセラミックスの総合メーカー（日本特殊陶業グループ）。エッチャーやプラズマCVD装置向けに、セラミックヒーターと静電チャックを供給する。
- •窒化アルミなど高熱伝導セラミックスの焼結技術
- •静電チャックとヒーターを一体で設計
関連カテゴリ
ボンディングツール（キャピラリ）は、ワイヤボンダの先端でワイヤを保持し、超音波と荷重を接合面へ伝える消耗部品です。
メーカー 4 社キャリア洗浄装置キャリア洗浄装置は、FOUPやウェハカセットに蓄積したパーティクルと化学汚染を洗い流す装置です。
メーカー 5 社消耗部品・部品洗浄/再生消耗部品・部品洗浄/再生は、プラズマやガスにさらされて徐々に劣化する装置内部品と、それらを再利用するためのサービス領域です。
メーカー 7 社装置制御ソフトウェア・受託開発装置制御ソフトウェアは、半導体製造装置のチャンバー・搬送ロボット・ガス系・電源などを指示どおりに動かし、プロセスレシピを実行するソフトウェア層です。
メーカー 6 社ダイシングブレード・マウンタ部品ダイシングブレード・マウンタ部品は、ウェハをチップへ切り分ける工程で使う消耗部材です。
メーカー 5 社流体・薬液システム流体・薬液システムは、装置内で薬液・純水・冷媒・オゾン水を運び、温度と流量を制御するサブシステムです。
メーカー 8 社ガス供給・流量制御ガス供給・流量制御系は、プロセスガスや特殊材料ガスを決められた流量・圧力でチャンバへ届けるサブシステムです。
メーカー 8 社ヒータユニット・温度モニタヒータユニット・温度モニタは、チャンバやサセプタを加熱し、その温度を測定・制御する部品群です。
メーカー 8 社センサウェハ（T/C付ウェハ）センサウェハ（T/C付ウェハ）は、熱電対や各種センサを埋め込んだ計測専用のウェハで、装置の状態を実際のウェハ位置で測るための治具です。
メーカー 4 社駆動・光学ユニット駆動・光学ユニットは、ウェハを動かし、光を当て、状態を検出するという装置の身体機能を担うサブシステムです。
メーカー 8 社研磨用パッド・キャリア部品研磨用パッド・キャリア部品は、CMPやウェハ研磨で実際に加工面と接する消耗部材です。
メーカー 9 社RF電源・電源システムRF電源・電源システムは、プラズマを用いるエッチング・CVD（PECVD）・PVD（スパッタ）装置に高周波/直流電力を供給するサブシステムです。
メーカー 4 社プロセスモニター（EPD/OES）プロセスモニターは、処理中のチャンバ内部の状態を実時間で観測するユニットです。
メーカー 10 社石英・セラミック部品石英・セラミック部品は、高温・プラズマ・腐食性ガスにさらされる製造装置のチャンバー内部で使われる部材です。
メーカー 7 社表面処理・溶射コーティング表面処理・溶射コーティングは、チャンバ内壁や治具の表面に耐プラズマ性の膜を作り、部品寿命とパーティクル特性を改善する加工サービスです。
メーカー 7 社テスト用治具・コンタクト部品テスト用治具・コンタクト部品は、テスタとデバイスの間に入って電気的な接触を作る部品群です。
メーカー 8 社真空ポンプ真空ポンプは、成膜（CVD/PVD/ALD）・エッチング・イオン注入など、真空環境を必要とする製造装置のチャンバー内を排気する基幹サブシステムです。
メーカー 8 社真空排気システム真空排気システムは、プロセスチャンバの圧力を目的の領域まで下げ、その状態を反応中も維持し続けるためのサブシステムです。
メーカー 7 社ウェハキャリア・FOUP・EFEMウェハキャリア・FOUP・EFEMは、ウェハを清浄な環境で保管・搬送し、装置内へ受け渡すインターフェース部材/サブシステムです。
メーカー 9 社