東ソー（Tosoh）
スパッタリングターゲット・高純度化学品・石英ガラス製品の総合化学メーカー。半導体向けでは銅・タンタル・窒化チタンなどのスパッタリングターゲットで日本最大手級。ALD/CVD向け前駆体（有機金属化合物）でも重要サプライヤー。
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当サイトでの位置づけ
Semirai の材料カテゴリでは、スパッタリングターゲットや ALD/CVD 前駆体を手がける素材メーカーとして、成膜工程の薄膜原料とクリーンルーム部材を供給する立場にあります。
企業の強み
スパッタリングターゲット材料で国内トップシェア
ALD/CVD前駆体の独自開発力
石英ガラス・高純度アルミナ製品でクリーンルーム部材に対応
主要製品・ソリューション
スパッタリングターゲット
- •Cu・Ta・TaN・TiN各種ターゲット
ALD前駆体
- •Hf・Zr・Al・Ti系有機金属前駆体
石英ガラス
- •高純度合成石英（フォトマスク基板用）
半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、東ソー（Tosoh）を含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
関連用語
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