COMPANY DATABASE

東ソー(Tosoh)

スパッタリングターゲット・高純度化学品・石英ガラス製品の総合化学メーカー。半導体向けでは銅・タンタル・窒化チタンなどのスパッタリングターゲットで日本最大手級。ALD/CVD向け前駆体(有機金属化合物)でも重要サプライヤー。

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当サイトでの位置づけ

Semirai の材料カテゴリでは、スパッタリングターゲットや ALD/CVD 前駆体を手がける素材メーカーとして、成膜工程の薄膜原料とクリーンルーム部材を供給する立場にあります。

企業の強み

スパッタリングターゲット材料で国内トップシェア
ALD/CVD前駆体の独自開発力
石英ガラス・高純度アルミナ製品でクリーンルーム部材に対応

主要製品・ソリューション

スパッタリングターゲット

  • Cu・Ta・TaN・TiN各種ターゲット

ALD前駆体

  • Hf・Zr・Al・Ti系有機金属前駆体

石英ガラス

  • 高純度合成石英(フォトマスク基板用)

📊 半導体製造装置メーカーの世界シェア&カオスマップ

ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、東ソー(Tosoh)を含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。

関連用語

PVDとは →ALDとは →バリアメタルとは →フォトマスクとは →石英部品(石英ガラス部材)とは →
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