Yield Engineering Systems（YES）
米国カリフォルニア州の装置メーカー。ポリイミドや PBO などの有機絶縁膜を低酸素・真空雰囲気で硬化させるキュア炉「VertaCure」、真空アニール・リフロー装置「VeroTherm」などを手がけ、ウェハレベル／パネルレベルパッケージ向けの熱処理装置を供給する。
米国・装置メーカー・公式サイト ↗
当サイトでの位置づけ
Semirai のリソグラフィ装置カテゴリでは、ポリイミド等の絶縁膜を硬化させる真空キュア炉の専業メーカーとして、先端パッケージの再配線層形成を支える立場にあります。
企業の強み
ポリイミドキュアに特化した真空キュア炉
ウェハレベル・パネルレベル双方への対応
先端パッケージ向け熱処理のラインナップ
主要製品・ソリューション
キュア・熱処理装置
- •VertaCure
- •VeroTherm
- •VeroFlex
関連装置カテゴリ
半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、Yield Engineering Systems（YES）を含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
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