ナノリニア NT シリーズとは
ナノリニア NT シリーズは、日本トムソン（IKO）のリニアモーター駆動の精密位置決めテーブルです。IKO の C-Groove リニアウェイで案内します。
高精密の TX、クリーン環境向けの TC、アライメントステージの SA などの関連機種があり、精密位置決めやピックアンドプレースに使われます。
主な特長
- •リニアモーター駆動
- •C-Groove リニアウェイによる案内
主な仕様
| 種類 | リニアモーター駆動 精密位置決めテーブル |
|---|---|
| 関連機種 | TX（高精密）・TC（クリーン）・SA（アライメントステージ） |
| 主要用途 | 精密位置決め・ピックアンドプレース |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | 日本トムソン（IKO）ナノリニア® NT シリーズ | ハーモニック・ドライブ・システムズハーモニックドライブ®（波動歯車装置） |
|---|---|---|
| 種類 | リニアモーター駆動 精密位置決めテーブル | 波動歯車減速機 |
| 関連機種 | TX（高精密）・TC（クリーン）・SA（アライメントステージ） | メカトロニクス製品 |
| 主要用途 | 精密位置決め・ピックアンドプレース | ウェーハ搬送・アライメント・ステージ回転 |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •精密位置決め
- •ピックアンドプレース
掲載カテゴリ
ナノリニア NT シリーズは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
日本トムソン（IKO）
ニードルベアリングと直動案内機器のメーカー。リニアガイドやクロスローラーガイド、位置決めテーブルを供給し、半導体製造装置のステージや搬送軸に使われる。
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-07