駆動・光学ユニットメーカー8社Motion and Optical Units
駆動・光学ユニットは、ウェハを動かし、光を当て、状態を検出するという装置の身体機能を担うサブシステムです。搬送ロボットはスループットを、精密ステージと干渉計は位置決め精度を、除振システムは外乱からの隔離を受け持ちます。露光装置ではエキシマレーザー光源と光学系がそのまま解像力になり、洗浄装置ではメガソニック振動子が洗浄力を決めます。いずれも装置メーカーが専門サプライヤーから調達する領域で、ここでの技術革新が装置の世代交代を引き起こすことも多い、地味ですが決定力のあるカテゴリです。
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エキシマレーザー発振器は、希ガスとハロゲンの混合ガスを放電励起して紫外光を出す光源です。
メーカー 3 社超音波・メガソニック振動子超音波・メガソニック振動子は、洗浄液に高周波の音波を与え、その物理力でウェハ表面のパーティクルを剥離させる部品です。
メーカー 2 社光学系ユニット・UVランプ光学系ユニット・UVランプは、装置内で光を作り、整形し、必要な場所へ導くための部品群です。
メーカー 5 社各種センサ・モータ各種センサ・モータは、装置の状態を検出し、機構を動かすための基礎部品です。
メーカー 6 社精密ステージ・干渉計精密ステージ・干渉計は、ウェハを保持して移動させ、その位置をnm精度で測定するユニットです。
メーカー 3 社除振システム除振システムは、床から伝わる振動や装置自身が出す振動を遮断し、精密ユニットを静かな環境に置くための機構です。
メーカー 4 社ウェハ搬送ロボット・ハンドリングウェハ搬送ロボット・ハンドリングシステムは、キャリアとプロセスチャンバの間でウェハを掴み、運び、置くための機構です。
メーカー 7 社重要ポイント
メーカー
8社の主要メーカー
半導体ウェハ搬送ロボット・EFEM（装置フロントエンドモジュール）・ソーターの専業大手。装置メーカーへOEM供給し、クリーンな搬送自動化で高い世界シェアを持つ。
- •ウェハ搬送ロボット・EFEMで高い世界シェア
- •真空・大気搬送からソーターまで一貫した搬送ソリューション
- •装置メーカー向けOEMで前後工程を横断
サーボモータ・インバータ・産業用ロボットの大手メーカー。半導体分野では大気搬送・真空搬送に対応したクリーンロボットを供給し、装置内および装置間のウェハ搬送を担う。
- •サーボ技術を核とした高速・高精度な搬送
- •大気用・真空用の双方のクリーンロボット
- •モーション制御まで含めた一体設計
生産システムのエンジニアリング会社。半導体分野ではウェハ搬送ユニットやEFEM、ロードポートなどを供給し、装置メーカー向けに搬送部を組み込む形で事業を展開する。
- •生産ラインのインテグレーション力
- •ウェハ搬送ユニットの設計・製造
- •自動車・家電を含む幅広い自動化実績
クリーン搬送機器のメーカー。FOUPを装置に接続するロードポートと、その内部でウェハを搬送するEFEM（装置フロントエンドモジュール）で世界的なシェアを持つ。
- •ロードポートで世界トップクラスのシェア
- •EFEM・搬送ロボットの一体設計
- •ミニエンバイロメントの清浄度管理技術
電力機器・溶接機を源流とするメーカー。半導体分野ではウェハ搬送ロボットに加え、プラズマ装置向けの高周波電源と整合器（マッチングボックス）を供給する。
- •高周波電源と整合器を自社設計
- •大気・真空対応のウェハ搬送ロボット
- •電力変換技術の長い蓄積
半導体露光用エキシマレーザー光源の大手メーカー。ArF・KrFレーザーでASML・ニコン・キヤノンの露光装置に光源を供給。小松製作所と旭硝子（AGC）の合弁会社。
- •ArF（193nm）・KrFエキシマレーザー光源で世界シェア上位
- •Cymer（Applied Materials傘下）と並ぶ二大光源メーカーの一角
- •高繰り返し・高出力・長寿命レーザー技術で露光装置の安定稼働を支援
産業用・半導体製造向け光源装置の日本大手。UV・DUV露光光源、ランプ式露光装置、UV硬化システムを手がける光技術の総合メーカー。
- •半導体露光用水銀ランプ・エキシマランプで国内トップ
- •UV硬化・表面処理向け光源の幅広いラインナップ
- •Christie Digital買収によるプロジェクタ・映像事業も展開
波動歯車装置（ハーモニックドライブ）の専業メーカー。バックラッシュがほぼゼロの精密減速機を供給し、半導体搬送ロボットや精密ステージの駆動部に使われる。
- •波動歯車装置による極小バックラッシュ
- •小型・軽量で高減速比を実現
- •ロボット・精密機器向けの豊富な採用実績
関連カテゴリ
装置部品・サブシステムは、露光・エッチング・成膜・洗浄などの半導体製造装置を内部で構成する真空ポンプ・RF電源・ガス供給/流量制御（MFC）・石英/セラミック部品・ウェハキャリア（FOUP）・各種消耗部品などの総称です。
メーカー 15 社露光装置露光装置（リソグラフィ装置）は、マスク（レチクル）に描かれた回路パターンをウェハ上のフォトレジストに光を用いて転写する装置群です。
メーカー 6 社ウェハ搬送装置ウェハ搬送装置は、半導体製造ラインの各プロセス装置内・装置間でウェハを自動搬送するロボット・ハンドラー・コンベアシステムの総称です。
メーカー 10 社ウェハキャリア・FOUP・EFEMウェハキャリア・FOUP・EFEMは、ウェハを清浄な環境で保管・搬送し、装置内へ受け渡すインターフェース部材/サブシステムです。
メーカー 9 社