精密ステージ・干渉計メーカー3社
精密ステージ・干渉計は、ウェハを保持して移動させ、その位置をnm精度で測定するユニットです。露光装置ではウェハステージが1枚あたり数十回の高速な位置決めを繰り返し、その間ずっとレーザー干渉計またはエンコーダが実位置を読み続けて、目標との差をフィードバックします。加速時の反力による架台の振動、レーザー光路の空気ゆらぎ、熱膨張がすべて誤差要因になるため、リニアモータ・エアベアリング・環境制御を含めた総合設計になります。重ね合わせ精度はここで決まります。
主要特徴
メーカー
3社の主要メーカー
ニードルベアリングと直動案内機器のメーカー。リニアガイドやクロスローラーガイド、位置決めテーブルを供給し、半導体製造装置のステージや搬送軸に使われる。
- •ニードルベアリングと直動案内の両分野に強み
- •クリーン環境・真空対応品のラインナップ
波動歯車装置（ハーモニックドライブ）の専業メーカー。バックラッシュがほぼゼロの精密減速機を供給し、半導体搬送ロボットや精密ステージの駆動部に使われる。
- •波動歯車装置による極小バックラッシュ
- •小型・軽量で高減速比を実現
衛生陶器で知られる一方、ファインセラミック事業として半導体製造装置向けの静電チャック（ESC）を供給。多孔質セラミックの成形・焼成技術を強みとする。
- •ファインセラミックの成形・焼成技術
- •静電チャック（ESC）の主要サプライヤー
関連カテゴリ
エキシマレーザー発振器は、希ガスとハロゲンの混合ガスを放電励起して紫外光を出す光源です。
メーカー 3 社超音波・メガソニック振動子超音波・メガソニック振動子は、洗浄液に高周波の音波を与え、その物理力でウェハ表面のパーティクルを剥離させる部品です。
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メーカー 5 社各種センサ・モータ各種センサ・モータは、装置の状態を検出し、機構を動かすための基礎部品です。
メーカー 6 社除振システム除振システムは、床から伝わる振動や装置自身が出す振動を遮断し、精密ユニットを静かな環境に置くための機構です。
メーカー 4 社ウェハ搬送ロボット・ハンドリングウェハ搬送ロボット・ハンドリングシステムは、キャリアとプロセスチャンバの間でウェハを掴み、運び、置くための機構です。
メーカー 7 社