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受光感度・量子効率 換算ツール(フォトダイオード・イメージセンサ)

最終更新:

要点

受光感度は R = QE × λ[nm] / 1240(A/W)で、量子効率が同じなら波長に比例して大きくなります。量子効率100%・550nm の受光感度は約0.44 A/W です。イメージセンサの画質は、暗所では読み出し雑音と暗電流、明所では光子のショット雑音で決まります。

受光感度と光電流

受光感度 R0.3105A/W
量子効率 QE70.00%
理想(QE=100%)の受光感度0.4436A/W
光電流3.105×10⁻¹⁰A
入射光子数2.769×10⁹個/秒
光子エネルギー2.2543eV

イメージセンサ画素の信号・雑音(露光時間中)

信号電子数1.938×10⁷e⁻
S/N 比4402.4(72.9 dB)
暗電流による電子数62.4e⁻
雑音の合計4402.43e⁻ rms
ダイナミックレンジ57.3dB

信号電子数がフルウェルを超え、画素が飽和しています。露光時間を短くするか、光量を下げてください。

入射光パワーは上の欄の値を、1画素に当たるパワーとして使っています。

理想的な受光感度(QE = 100%)

00.20.40.60.82004006008001,0001,200波長 [nm]受光感度 [A/W]

よく使う波長の受光感度

波長光子エネルギーQE=100%QE=70%
405 nm3.061 eV0.327 A/W0.229 A/W
450 nm2.755 eV0.363 A/W0.254 A/W
532 nm2.331 eV0.429 A/W0.300 A/W
633 nm1.959 eV0.511 A/W0.357 A/W
850 nm1.459 eV0.686 A/W0.480 A/W
940 nm1.319 eV0.758 A/W0.531 A/W
1064 nm1.165 eV0.858 A/W0.601 A/W

量子効率と受光感度の関係

量子効率は「入射した光子1個あたり何個の電子が電流として取り出されるか」、受光感度は「1Wの光で何Aの電流が流れるか」を表します。長い波長の光子ほど1個あたりのエネルギーが小さく、同じパワーでも光子の数が多いため、量子効率が同じなら受光感度は波長に比例して大きくなります。

シリコンのフォトダイオードは、バンドギャップ(1.12eV、約1100nm)より長い波長をほとんど吸収せず、近赤外では吸収が浅いため量子効率が落ちます。短波長側は表面近くで吸収されて再結合で失われやすく、裏面照射(BSI)や表面パッシベーションで改善します。暗所の画質は読み出し雑音と暗電流で決まり、明るいところの画質は光子のショット雑音で決まります。

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