晶片是怎麼做出來的|半導體製造流程入門解說

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半導體晶片以名為矽晶圓的薄圓片為起點,分成前段製程(晶圓製程)與後段製程(組裝・測試)2個階段製造。前段製程經過曝光、蝕刻、薄膜沉積等數百道步驟製作電路,後段製程則從晶圓切出晶片並封裝成產品。以下搭配對應的設備,淺顯整理各製程在做什麼。

本文重點

製造分為「前段製程(晶圓製程)」與「後段製程(封裝・測試)」2個階段
光是前段製程就有數百道步驟,1片晶圓有時需要2~3個月才能完成
曝光機是製程的「心臟」,決定圖形的微細程度
蝕刻、薄膜沉積、CMP、清洗、檢測、量測反覆組合進行
在後段製程封入封裝後,才能作為產品出貨

Step 1:設計與光罩製作

首先使用EDA(電子設計自動化)工具進行電路設計,製作電晶體與導線的佈局資料。再依據這些資料製作光罩(倍縮光罩)。光罩是在玻璃基板上繪有精細圖形的「模版」,用於之後的曝光製程,將圖形轉印到晶圓上。設計與光罩製作在製造成本與時程中占了很大比例,最先進晶片的整套光罩費用可達數十億日圓。

Step 2:前段製程——在晶圓上形成電路

前段製程是在矽晶圓表面製作電路的製程。主要步驟包括:①薄膜沉積(以CVD、PVD、ALD沉積薄膜)、②光阻塗佈・曝光・顯影(以光轉印光罩圖形)、③蝕刻(去除不需要的部分)、④清洗(去除汙染與殘留物)、⑤CMP(Chemical Mechanical Planarization:表面平坦化)、⑥量測・檢測(確認尺寸、缺陷、膜厚),並反覆進行。這樣1個循環可形成1~2層,最先進晶片總共要堆疊100層以上。

Step 3:曝光——描繪電路的最關鍵製程

曝光是前段製程的「心臟」,將光照射在晶圓上的光阻(感光材料)上,轉印光罩的圖形。所用光的波長越短,能描繪的圖形就越精細。目前主流是ArF浸潤式曝光(波長193nm)與EUV曝光(波長13.5nm),7nm以下的最先進晶片不可缺少EUV。艾司摩爾(ASML)是全球最大的曝光機廠商,EUV量產機台僅由該公司供應。每1顆晶片的曝光製程要重複數十~百次以上。

Step 4:後段製程——封裝與測試

完成前段製程的晶圓,以切割設備切成一顆顆晶片(晶粒)。接著挑選良品晶粒,黏著到導線架或基板上(黏晶),再以金屬線或凸塊進行電氣連接(打線接合/覆晶)。之後以樹脂等材料封膠,完成封裝。最後以半導體測試設備(ATE)對所有IC進行電性測試,只有符合規格的產品才出貨。近年三維封裝(2.5D/3D)等高密度封裝技術快速發展。

延伸閱讀

曝光機→
蝕刻設備→
薄膜沉積設備→
半導體製程→
EUV 曝光機→
半導體是什麼?簡單易懂|原理・角色與生活中的應用→
電晶體與積體電路(IC)基礎|從開關原理到FinFET→

常見問題

製作半導體晶片需要多少時間?▾
光是前段製程(晶圓製程)通常就需要1~3個月。越先進的晶片製程步驟越多,時間也越長。後段製程(封裝・測試)依產品而異,大約數週。若把設計、光罩製作、前段與後段製程全部算進去,即使是量產品,花上半年~1年以上也不罕見。
前段製程與後段製程有什麼不同?▾
前段製程(晶圓製程)是在矽晶圓上製作電路圖形的製程,反覆進行曝光、蝕刻、薄膜沉積、清洗、CMP、檢測等步驟。後段製程(後端)是將晶圓切割成晶片、封入封裝並進行電性測試的製程。前段製程是「製作晶片」的階段,後段製程則是「完成產品」的階段。
晶片裡有多少個電晶體?▾
最先進晶片整合了數百億個電晶體。例如Apple M3晶片約有350億個,NVIDIA H100 GPU約有800億個電晶體。與1970年代的Intel 4004(約2300個)相比,50年間增加了約1000萬倍。
半導體工廠(晶圓廠)是在什麼樣的環境中生產?▾
半導體工廠的製造區稱為「無塵室」,是將空氣中的灰塵與微粒排除到極限的特殊環境。最先進的產線要求達到ISO class 1(每1立方公尺中0.1μm以上的微粒限制在10個以內)等級。此外,溫濕度、振動、電磁波等也受到嚴格管控。
台積電與三星是什麼樣的公司?▾
台積電(TSMC)是總部位於台灣的全球最大半導體晶圓代工廠(受託製造公司),為蘋果(Apple)、輝達(NVIDIA)等專業設計公司(無晶圓廠)製造晶片。三星(Samsung)是韓國的綜合半導體廠商,同時從事設計與製造。兩者都已量產最先進的3nm以下製程。
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