半導體晶片以名為矽晶圓的薄圓片為起點,分成前段製程(晶圓製程)與後段製程(組裝・測試)2個階段製造。前段製程經過曝光、蝕刻、薄膜沉積等數百道步驟製作電路,後段製程則從晶圓切出晶片並封裝成產品。以下搭配對應的設備,淺顯整理各製程在做什麼。
本文重點
Step 1:設計與光罩製作
首先使用EDA(電子設計自動化)工具進行電路設計,製作電晶體與導線的佈局資料。再依據這些資料製作光罩(倍縮光罩)。光罩是在玻璃基板上繪有精細圖形的「模版」,用於之後的曝光製程,將圖形轉印到晶圓上。設計與光罩製作在製造成本與時程中占了很大比例,最先進晶片的整套光罩費用可達數十億日圓。
Step 2:前段製程——在晶圓上形成電路
前段製程是在矽晶圓表面製作電路的製程。主要步驟包括:①薄膜沉積(以CVD、PVD、ALD沉積薄膜)、②光阻塗佈・曝光・顯影(以光轉印光罩圖形)、③蝕刻(去除不需要的部分)、④清洗(去除汙染與殘留物)、⑤CMP(Chemical Mechanical Planarization:表面平坦化)、⑥量測・檢測(確認尺寸、缺陷、膜厚),並反覆進行。這樣1個循環可形成1~2層,最先進晶片總共要堆疊100層以上。
Step 3:曝光——描繪電路的最關鍵製程
曝光是前段製程的「心臟」,將光照射在晶圓上的光阻(感光材料)上,轉印光罩的圖形。所用光的波長越短,能描繪的圖形就越精細。目前主流是ArF浸潤式曝光(波長193nm)與EUV曝光(波長13.5nm),7nm以下的最先進晶片不可缺少EUV。艾司摩爾(ASML)是全球最大的曝光機廠商,EUV量產機台僅由該公司供應。每1顆晶片的曝光製程要重複數十~百次以上。
Step 4:後段製程——封裝與測試
完成前段製程的晶圓,以切割設備切成一顆顆晶片(晶粒)。接著挑選良品晶粒,黏著到導線架或基板上(黏晶),再以金屬線或凸塊進行電氣連接(打線接合/覆晶)。之後以樹脂等材料封膠,完成封裝。最後以半導體測試設備(ATE)對所有IC進行電性測試,只有符合規格的產品才出貨。近年三維封裝(2.5D/3D)等高密度封裝技術快速發展。