最後更新:2026年10月8日製造流程基礎供應鏈・產業結構中國大陸:半导体制造工艺

半導體製程是什麼

Semiconductor Manufacturing Process

半導體製程是在矽晶圓上反覆堆疊電晶體、導線與絕緣膜,直到完成具有功能之積體電路晶片為止的所有步驟的總稱。分為在晶圓上製作元件的前段製程(Front-End),以及進行切割、封裝、測試的後段製程(Back-End),先進邏輯的步驟數可達數百~數千道。

目錄5 項
  1. 定義與原理
  2. 常見問題
  3. 相關企業
  4. 相關用語
  5. 比較文章

定義與原理

半導體製程(Manufacturing Process)是在矽晶圓上反覆堆疊電晶體、導線、絕緣膜等結構,直到最終完成具有功能之積體電路晶片為止的一連串步驟的總稱。由前段製程(Front-End:在晶圓上形成元件)與後段製程(Back-End:切割・封裝・測試)組成,是多達數百~數千道步驟的精密製造流程。

前段製程主要由以下反覆進行的步驟組成。(1)清洗:去除晶圓表面污染。(2)薄膜沉積(CVD/PVD/ALD):形成絕緣膜、金屬膜、半導體膜。(3)微影:塗佈光阻→曝光(EUV/DUV)→顯影,形成圖案。(4)蝕刻(乾式/濕式):去除不需要的部分。(5)離子佈植:導入摻雜物。(6)退火:以熱處理修復結晶並活化摻雜物。(7)CMP:平坦化研磨。這些步驟反覆數十~數百個循環,逐步建構出元件結構。

製程世代(節點)被用作技術成熟度與微縮程度的指標。目前量產的最先進節點為 3nm(台積電 N3、三星 SF3),2nm(台積電 N2)與 1.8nm(Intel 18A)正在開發或量產爬坡中。隨著節點推進,電晶體密度提升,效能與能源效率獲得改善,但製造難度與成本也呈指數成長。

後段製程依序對晶圓上的各晶片進行電性測試(晶圓針測)→切割→封裝(安裝至基板・封膠)→最終測試(ATE:自動測試設備)→出貨檢驗。隨著先進封裝(CoWoS・SoIC・HBM 堆疊)的興起,後段製程在技術上的重要性已提高到足以與前段製程匹敵的程度。

支撐整個半導體製程的主要設備廠商,包括應用材料(在許多製程設備類別居全球最大)、科林研發(蝕刻・ALD・CMP)、艾司摩爾(微影設備:獨占 EUV)、東京威力科創(塗佈顯影機・CVD・蝕刻)、科磊(檢測・量測)、愛德萬測試(測試)。這5~6家廠商占半導體製造設備市場約70%以上。

半導體製程的常見問題

半導體製程的前段製程與後段製程有何不同?
前段製程(Front-End)是在矽晶圓上反覆進行薄膜沉積、曝光、蝕刻、離子佈植,製作電晶體與導線的步驟。後段製程(Back-End)則是將晶圓切割成個別晶片、封裝,並檢查電氣特性,完成可出貨產品的步驟。前段製程的關鍵在於無塵室潔淨度與設備精度,後段製程的關鍵則是封裝技術與測試涵蓋率。
半導體製造大約需要多少道步驟?
先進邏輯約需 1,000~2,000 道以上,DRAM 約 800~1,000 道。由於相同的薄膜沉積、曝光、蝕刻要依金屬層數反覆進行,步驟數因而膨脹,從投片到完成需要 2~3個月。步驟越多,單 1 個不良對良率的影響也越大。
為什麼半導體製造需要無塵室?
因為電路圖案微細到數 nm~數十 nm,空氣中只要附著 1 顆微粒,就可能導致導線短路或斷路。先進晶圓廠維持極高的潔淨度,作業人員也要穿著專用的無塵衣,抑制人體產生的粉塵。

相關設備・材料

相關企業

比較文章

入門文章

所屬主題