半導體製程(Manufacturing Process)是在矽晶圓上反覆堆疊電晶體、導線、絕緣膜等結構,直到最終完成具有功能之積體電路晶片為止的一連串步驟的總稱。由前段製程(Front-End:在晶圓上形成元件)與後段製程(Back-End:切割・封裝・測試)組成,是多達數百~數千道步驟的精密製造流程。
前段製程主要由以下反覆進行的步驟組成。(1)清洗:去除晶圓表面污染。(2)薄膜沉積(CVD/PVD/ALD):形成絕緣膜、金屬膜、半導體膜。(3)微影:塗佈光阻→曝光(EUV/DUV)→顯影,形成圖案。(4)蝕刻(乾式/濕式):去除不需要的部分。(5)離子佈植:導入摻雜物。(6)退火:以熱處理修復結晶並活化摻雜物。(7)CMP:平坦化研磨。這些步驟反覆數十~數百個循環,逐步建構出元件結構。
製程世代(節點)被用作技術成熟度與微縮程度的指標。目前量產的最先進節點為 3nm(台積電 N3、三星 SF3),2nm(台積電 N2)與 1.8nm(Intel 18A)正在開發或量產爬坡中。隨著節點推進,電晶體密度提升,效能與能源效率獲得改善,但製造難度與成本也呈指數成長。
後段製程依序對晶圓上的各晶片進行電性測試(晶圓針測)→切割→封裝(安裝至基板・封膠)→最終測試(ATE:自動測試設備)→出貨檢驗。隨著先進封裝(CoWoS・SoIC・HBM 堆疊)的興起,後段製程在技術上的重要性已提高到足以與前段製程匹敵的程度。
支撐整個半導體製程的主要設備廠商,包括應用材料(在許多製程設備類別居全球最大)、科林研發(蝕刻・ALD・CMP)、艾司摩爾(微影設備:獨占 EUV)、東京威力科創(塗佈顯影機・CVD・蝕刻)、科磊(檢測・量測)、愛德萬測試(測試)。這5~6家廠商占半導體製造設備市場約70%以上。