3D NAND(3D NAND Flash)是將快閃記憶體單元(NAND 型)不在平面上、而是沿垂直方向(Z 軸方向)多層堆疊而成的 NAND 型快閃記憶體。平面(2D)NAND 過去靠單元微縮來增加容量,但面臨微縮的物理極限(單元干擾、寫入次數劣化、良率下降),因此以增加層數來擴大容量的 3D 化成為主流。三星、SK 海力士、美光、鎧俠、Western Digital、YMTC 是主要供應商。
3D NAND 的主要技術方式有:(1)Charge Trap Flash(CTF)方式:三星 V-NAND、SK 海力士、美光、鎧俠/WD 採用。在單元絕緣層(SiN)中儲存電荷,有利於微縮。(2)Floating Gate(FG)方式:早期英特爾/美光採用,但現已退出主流。目前各家都在展開超過 100 層(三星:286 層、SK 海力士:321 層、美光:276 層)的高層數競賽。
3D NAND 的製造需要堆疊大量薄膜層的製程(SiO₂/SiN 交互成膜→一次蝕刻形成通道孔)。通道孔(高深寬比 50:1 以上)的形成使用 Lam Research、Tokyo Electron 的蝕刻設備,各層成膜則使用 Applied Materials、Lam Research、TEL 的 CVD/ALD 設備。隨著層數增加,每項產品的晶圓處理時間拉長,因此提升生產力是主要課題。
3D NAND 已普及為 SSD、eMMC、UFS(智慧型手機用)與企業級儲存的主要儲存媒體,在 AI 資料中心儲存容量需求增加的背景下需求強勁。依每個單元的位元數可分為 SLC(1 位元)、MLC(2 位元)、TLC(3 位元)、QLC(4 位元),位元數越多,每單位容量價格越低,但寫入耐久度與速度也會下降。
3D NAND 的最新技術動向包括:(1)200~300 層以上的高層數化(三星宣示將超過 1000 層)、(2)透過 QLC・PLC(5 位元)化降低每位元成本、(3)以 CMOS under Array(CuA)結構縮小占用面積、(4)為提升吞吐量的高速寫入架構、(5)YMTC(中國)崛起帶來的供應與價格競爭加劇等。